ACU20FDR系列低壓差氣體質量流量控制器產品簡介

在半導體和集成電路工業、特種材料、熱處理、石油化工、環保和真空應用等眾多制造與科研領域，氣體的精準計量與穩定控制是保障生產質量的核心環節。

針對低壓、大流量工況的測控，北京精量科技基于熱式原理，自主研發、設計的ACU20FDR系列低壓差氣體質量流量控制器（MFC），用于測量和閉環控制氣體質量流量。憑借獨特的設計理念與優異的性能表現，提供了可信賴的氣體流量測控方案。

ACU20FDR系列基于熱擴散式與傳感檢測原理，由流量傳感模塊、溫度補償單元、高流通能力電磁閥、數字信號處理與通訊模塊組成。按照電功率與氣體的質量流量成正比的原理，結合溫度傳感器進行溫度補償，實現了高精度、快速響應的流量測量和控制，同時，配備了高流通能力電磁閥，使ACU20FDR系列更適合在幾乎沒有可用系統壓力的條件下，精準控制氣體流量，低壓差控制將保證對系統產生最小影響，實現在接近大氣壓狀態下的穩定控制。

核心優勢：

高精度與寬量程：

ACU20FDR可實現較寬的控制比，其測量精度±0.5% F.S，重復性±0.2% F.S，可滿足半導體鍍膜、氣相色譜、催化反應、真空熱處理行業等對流量控制精度要求較高的場景。

快速響應：ACU20FDR預熱時間短，響應速度快，可快速啟動流體測量和控制工作。其高精度傳感器和電路優化設計有效降低了零漂，提高了測量靈敏度與長期穩定性，保障連續運行下的數據可靠性。

擴展性強：

支持模擬量輸入輸出，可配置多類型工業通訊接口，支持RS232/485MODBUS、PROFIBUS等通訊協議，可外接顯示單元，還能定制閥門與PID調節，方便遠程控制和數據采集，拓展多場景適配能力。

應用案例：

ACU20FDR低壓差質量流量控制器/流量計聚焦低壓、大流量、高精度測控需求，已在多行業實現規模化應用，例如：

• 能源環保領域：其用于天然氣計量或煙氣分析，為碳排放監測提供可靠數據支撐。

• 催化裂化過程：用于控制反應器中的氣氛流量，以優化燃料油的產量。

• 環境監測站：用于采樣和分析空氣中的有害氣體，如PM2.5、揮發性有機化合物（VOCs）等。

• 氣體滲碳爐：由于壓力損失小的特性，低壓供給富化氣體流量難以控制的這一問題，也得到了相應的改善。爐內氣氛控制提升，滲碳品質更穩定。

ACU20FDR系列低壓差氣體質量流量控制器/流量計以低壓適配、高精度、快響應的特點，成為行業內低壓場景的信賴之選。它不僅提升生產效率和產品質量，還滿足了從研發到嚴苛工業環境的要求。面向愈加精密的制造需求，ACU20FDR正以穩健的技術性能，持續為客戶提供值得信賴的流量測控支撐。

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