高溫氣體液體流量控制器MFC及流量計(jì)： -- 可快速精確測(cè)量過(guò)程氣體/液體/蒸汽的體積流量/質(zhì)量流量； -- 采用定制的高速比例控制閥對(duì)介質(zhì)體積流量/質(zhì)量流量進(jìn)行精確控制 -- 測(cè)量液體時(shí)，帶有排氣孔可輕松排出空氣 -- 集成多功能數(shù)字顯示屏，通過(guò)屏幕按鈕便可控制設(shè)定值及PID閥門(mén)調(diào)節(jié)，開(kāi)放模擬輸入輸出和RS-485數(shù)字通訊 -- 內(nèi)部無(wú)可移動(dòng)組件和熱元件，通過(guò)抗振動(dòng)測(cè)試，對(duì)安裝方向不敏感。

沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計(jì)，采用定制的高速比例控制閥，可快速精確測(cè)量高溫氣體的質(zhì)量流量，可以以質(zhì)量單位或體積單位顯示流量值，精度0.5%FS。

熱式高溫分體氣體質(zhì)量流量控制器及流量計(jì)，采用定制的高速比例控制閥，可快速精確測(cè)量高溫氣體的質(zhì)量流量，可以以質(zhì)量單位或體積單位顯示流量值，精度0.5%FS。